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    • 专利摘要:
    Ein Vibrator (30) besitzt einen Rahmenabschnitt (31) mit einer planaren Rahmenform, einen im Rahmen befestigten Abschnitt (60), welcher an einem Basisabschnitt (20) befestigt ist und in dem inneren Raum befindlich ist, der von dem inneren Rand des Rahmenabschnitts (31) umgeben ist, und eine Ansteuerungselektrode (40, 41), welche eine erste Ansteuerungselektrode (40a, 41a), die gegenüberliegend dem äußeren Randabschnitt des Vibrators (30) angeordnet ist, und eine zweite Ansteuerungselektrode (40b, 41b) aufweist, die an dem im Rahmen befestigten Abschnitt (40) angeordnet ist, um dem inneren Randabschnitt des Rahmenabschnitts (31) gegenüberzuliegen, und es sind der Rückseitenabschnitt (60a) des im Rahmen befestigten Abschnitts (60) und der innere Randabschnitt des Rahmenabschnitts (31), welcher dem Rückseitenabschnitt (60a) gegenüberliegt, in einem uneben bzw. ungleichmäßig geformten Abschnitt entworfen.
    公开号:DE102004001337A1
    申请号:DE102004001337
    申请日:2004-01-08
    公开日:2004-07-22
    发明作者:Hirofumi Kariya Higuchi
    申请人:Denso Corp；
    IPC主号:G01C19-56
    专利说明:
    [0001] Die vorliegende Erfindung beziehtsich auf eine elektrostatische Vibrationsvorrichtung, welche einenVibrator mit einer elektrostatischen Kraft derart ansteuert bzw.antreibt, daß derVibrator vibriert (was hiernach als "Ansteuerungsvibration" bzw. "Antriebsvibration" ("driving-vibration") bezeichnet wird),und ist anwendbar auf einen Winkelgeschwindigkeitssensor eines elektrostatischenVibrationstyps, einen Stellantrieb (actuator), usw.
    [0002] Als Vorrichtung eines elektrostatischenVibrationstyps wurde ein Winkelgeschwindigkeitssensor eines elektrostatischenVibrationstyps vorgestellt, bei welchem ein Basisabschnitt, einVibrator und eine Erregungselektrode zum Ansteuern des Vibrators durch Ätzen einesHalbleitersubstrats gebildet sind (vergleiche JP-A-2001-91265 (Seiten4–5, 1)).
    [0003] Bei diesem Winkelgeschwindigkeitssensor wirdder Vibrator angesteuert bzw, angetrieben (angeregt), um in einervorbestimmten Ansteuerungs- bzw. Antriebsrichtung (driving direction)durch die Ansteuerungs- bzw. Antriebselektrode (driving electrode)zu vibrieren, und unter Aufbringung einer Winkelgeschwindigkeitvibriert der Vibrator in einer Richtung (Erfassungsrichtung) senkrechtzu der Ansteuerungsrichtung durch die Corioliskraft. Die aufgebrachteWinkelgeschwindigkeit wird auf der Grundlage der Vibration in derErfassungsrichtung erfaßt.
    [0004] Entsprechend der vorliegenden Erfindung wurdeein Prototyp eines winkelgeschwindigkeitssensors vom elektrostatischenVibrationstyp wie oben beschrieben herge stellt, und es wurden verschiedeneStudien anhand des Prototyps durchgeführt.
    [0005] 7 zeigteine schematische Draufsicht, welche die Konstruktion eines Winkelgeschwindigkeitssensorseines ersten Prototyps darstellt, welcher auf der Grundlage deroben beschriebenen verwandten Technik hergestellt worden ist. DieserPrototyp kann durch eine bekannte Halbleiterherstellungstechnikunter Verwendung eines SOI-(silicon on insulator, Silizium auf Isolator)Substrats 10 hergestellt werden, welches zwei Siliziumsubstrateaufweist, die übereinen Oxidfilm aneinander befestigt sind. 7 stellt ebenfalls ein Siliziumsubstrat(Halbleitersubstrat) 12 dar, welches eine planare Formbildet. Gräben sindauf dem einen Siliziumsubstrat 12 durch Ätzen gebildet,um die jeweiligen Teile zu bilden.
    [0006] Ein Vibrator 30 ist aufeinem Öffnungsabschnitt 14 angeordnet,welcher durch partielles Entfernen des Oxidfilms gebildet wird,der das eine Siliziumsubstrat 12 und das andere Siliziumsubstrat trägt. DerVibrator 30 ist an einem Basisabschnitt 20, welcherum den äußeren Randdes Öffnungsabschnitts 14 herumbefindlich ist, durch Ansteuerungs- bzw. Antriebsbalken (drivingbeams) 33 befestigt, welche derart entworfen sind, daß sie ineiner x-Richtungvon 6 deformierbar elastischsind. Der Basisabschnitt 20 ist aus dem Oxidfilm und demanderen Siliziumsubstrat gebildet.
    [0007] Des weiteren sind kammförmige Ansteuerungselektroden 40, 41 zumAufbringen einer elektrostatischen Kraft auf den Vibrator 30,um den Vibrator 30 in die x-Richtung anzusteuern und vibrierenzu lassen, an dem Basisabschnitt 20 befestigt. Die Ansteuerungselektroden 40, 41 sindderart angeordnet, daß siedem äußeren Randabschnittdes Vibrators 30 gegenüberliegen.Darüberhinaus sind die kamm förmigenAbschnitte 30a an den Vibrator 30 an Abschlüssen davonvorgesehen, welche an den Ansteuerungselektroden 40, 41 derartangeordnet sind, daß diekammförmigenAbschnitte 30a und die Ansteuerungselektroden 40, 41 ineinandergreifen.
    [0008] Entsprechend 7 ist ein Erfassungsschwebeabschnitt 32 anden mittleren Abschnitt des Vibrators 30 derart gebildet,daß ermit den rechten und linken Seiten (flach geformten Abschnitten)des Vibrators 30 durch Erfassungsbalken 34 deformierbarin der y-Richtung (wie eine Feder) verbunden ist. Des weiteren sindErfassungselektroden 50 an dem Basisabschnitt 20 derartgebildet, daß siedem Erfassungsschwebeabschnitt 32 gegenüberliegen.
    [0009] Wenn bei dem in 7 dargestellten Winkelgeschwindigkeitssensordes elektrostatischen Vibrationstyps eine konstante Spannung anden Vibrator 30 und alternierende Spannungen (Ansteuerungs- bzw.Antriebssignale (driving signals)), welche bezüglich der Phase zueinanderentgegengesetzt sind, an die rechten bzw. linken Ansteuerungselektroden 40, 41 angelegtwerden, wird der gesammte Vibrator 30 angesteuert, um inder x-Richtung um die Ansteuerungsbalken 33 zu vibrieren.
    [0010] Wenn eine Winkelgeschwindigkeit Ω unter derAnsteuerungsvibration des Vibrators 30 aufgebracht wird,tritt in dem Vibrator 30 eine Corioliskraft auf, welchein der y-Richtung wirkt, und der von den Erfassungsbalken 34 indem Vibrator 30 getragene Erfassungsschwebeabschnitt 32 vibriertin der y-Richtung durch die Corioliskraft (was hiernach als "Erfassungsvibration" bezeichnet wird).Zu dieser Zeit ändertsich die elektrostatische Kapazität zwischen den Erfassungselektroden 50 unddem Erfassungsschwebeabschnitt 32 infolge der Erfassungsvibration.Die Größe der Winkelgeschwindigkeit Ω kann durchErfassen der Kapazitätsänderungbestimmt werden.
    [0011] Da die Corioliskraft proportionalzu der Vibrationsgeschwindigkeit der Ansteuerungsvibration des Vibrators 30 ist,wird es verlangt, die Vibrationsgeschwindigkeit zu erhöhen, umdie Empfindlichkeit der Winkelgeschwindigkeitsmessung zu erhöhen undsomit die Winkelgeschwindigkeit mit einer hohen Genauigkeit zu erfassen.Es wird daher verlangt, die Anzahl von Handsteuerungselektrodenzu erhöhenund somit die Ansteuerungs, d.h. die elektrostatische Kraft, zuintensivieren. Beispielsweise wird es bezüglich des in 7 dargestellten Sensors verlangt, die Anzahlder Kammzähnein den Ansteuerungselektroden 40, 41 zu erhöhen.
    [0012] Wenn jedoch lediglich die Anzahlvon Ansteuerungselektroden erhöhtwird, erhöhtsich die Körpergröße des Substrats,welches den Sensor bildet, was ungünstig ist. Daher wurde einin 8 dargestellter Winkelgeschwindigkeitssensordes elektrostatischen Vibrationstyps als zweiter Prototyp von denErfindern dieser Erfindung geschaffen.
    [0013] Der zweite Prototyp wird durch Modifizieren derrechten und linken Seiten des Vibrators 30 des in 7 dargestellten ersten Prototypsderart erzielt, daß jederflach geformte Abschnitt als Rahmenabschnitt 31 mit einerRahmenform entworfen wird. Des weiteren ist ein Teil von jeder Ansteuerungselektrode 40, 41,welcher an dem Basisabschnitt 20 befestigt ist, in deminneren Raum befindlich, welcher von dem inneren Rand jedes Rahmenabschnitts 31 umgeben ist,und dient als im Rahmen befestigter Abschnitt 60, so daß jede kammförmige Ansteuerungselektrode 40b, 41b andem im Rahmen befestigten Abschnitt 60 ange ordnet ist,welcher von dem Rahmenabschnitt 31 umgeben ist.
    [0014] Das heißt, die Ansteuerungselektroden 40, 41 deszweiten Prototyps enthalten die ersten Annsteuerungselektroden 40a, 41a,welche derart angeordnet sind, daß sie dem größeren Randabschnitt desVibrators 30 gegenüberliegen,und die zweiten Ansteuerungselektroden 40b, 41b,welche an den im Rahmen befestigten Abschnitten 60 angeordnetsind, um den inneren Randabschnitten der rechten bzw. linken Rahmenabschnitte 31 gegenüberzuliegen.
    [0015] Wie oben beschrieben kann die Anzahlvon Ansteuerungselektroden, welche entworfen sind, daß sie einehohe Flächenwirksamkeitbesitzen, durch Annehmen der Struktur dahingehend erhöht werden,daß derVibrator 30 in einer Rahmenformstruktur entworfen wirdund die Ansteuerungselektroden ebenfalls in den inneren Räumen angeordnet werden,welche von den inneren Randabschnitten der Rahmenabschnitte 31 umgebensind. Dementsprechend kann die dem Vibrator 30 aufgebrachte elektrostatischeKraft durch Erhöhender Anzahl von Kammzähnenwegen des Vorsehens der zweiten Ansteuerungselektroden 40b, 41b ebenfallserhöhtwerden.
    [0016] Bei der Konstruktion von 8 wirkt jedoch die elektrostatischeKraft, welche in der entgegengesetzten Richtung zu der elektrostatischenKraft wirkt, die von der Ansteuerungsvibration hervorgerufen wird,in der Lücke(hiernach als "gegenüberliegende Rückseitenlücke" bezeichnet) 70 zwischenden Rückseitenabschnitt 60a jedesim Rahmen befestigten Abschnitts 60 an der gegenüberliegendenSeite zu dem Zähneanordnungsabschnittder entsprechenden zweiten Ansteuerungselektrode 40b, 41b und deminneren Randabschnitt des entsprechenden Rahmenabschnitts 31,welcher dem Rückseitenabschnitt 60a gegenüberliegt.
    [0017] Sogar wenn die Anzahl von Ansteuerungselektrodenerhöhtwird, werden dementsprechend die Ansteuerungskraft und die Ansteuerungsvibrationsgeschwindigkeitnicht konform mit dem Ansteigen der Anzahl von Ansteuerungselektrodenerhöht.Diese Schwierigkeit tritt im allgemeinen nicht nur auf, wenn einAnsteigen der Ansteuerungskraft in dem Winkelsensor des elektrostatischenVibrationstyps beabsichtigt ist, sondern ebenfalls, wenn bezüglich der Vorrichtungdes elektrostatischen Vibrationstyps mit der Struktur beabsichtigtist, daß derVibrator in einer Rahmenform entworfen wird und die Ansteuerungselektrodenin dem Rahmen angeordnet sind.
    [0018] Aufgabe der vorliegenden Erfindungist es, die obigen Schwierigkeiten zu überwinden und insbesonderedie Ansteuerungskraft geeignet zu erhöhen, während ein Ansteigen der Körpergröße soweitwie möglichbei Vorrichtung des elektrostatischen Vibrationstyps unterdrückt wird,bei welchem ein Basisabschnitt, ein Vibrator und Ansteuerungselektroden durch Ätzen einesSubstrats gebildet sind.
    [0019] Die Lösung der Aufgabe erfolgt durchdie Merkmale des Anspruchs 1.
    [0020] Um die Ansteuerungs- bzw. Antriebskraftzur Ansteuerungsvibration eines Vibrators zu erhöhen. ist es erforderlich, dieelektrostatische Kraft (d. h. die elektrostatische Anziehungskraft)zu verringern, welche auf die Lückezwischen den gegenüberliegenden Rückseitenabschnittenwirkt. Um dieses Erfordernis zu erfüllen, kann die Lücke zwischenden gegenüberliegendenRückseitenabschnitteneinfach vergrößert werden.
    [0021] Dies liegt daran, daß die elektrostatische Kraft(elektrostatische Anziehungskraft) invers proportional zu dem Quadratdes Abstands zwischen Gegenständenist. Wenn die Lückezwischen den gegenüberliegendenRückseitenabschnittenerhöht wird,d.h. wenn die Ätzbreitebezüglichder Bestandteile wie dem Vibrator, den Ansteuerungselektroden, usw.erhöhtwird, treten verschiedene Schwierigkeiten auf.
    [0022] Wenn beispielsweise die Ätzbreitebei einem Abschnitt des Substrats übermäßig groß ist, tritt ein Nachteil dahingehendauf, daß dieProduktivitätverringert ist, da die Ätzgeschwindigkeitreduziert ist, wobei ein Ätzrückstandauftreten kann oder andere Abschnitte mit einer schmalen Ätzbreite überätzt werden.Daher ist es besser, die Ätzbeiteauf einen festgelegten wert überdem Substrat zu beschränken.
    [0023] Als Ergebnis der Bemühungen derErfinder wurde entdeckt, daß dieSeiten, welche überdie gegenüberliegendenRückseitenlücke einandergegenüberliegen,in einer ebenen bzw. gleichmäßigen Formentworfen sind, um die elektrostatische Kraft in der gegenüberliegendenRückseitenlücke zu verringern,wenn die Ätzbreitenbeschränkung berücksichtigtwird.
    [0024] Das heißt, wenn die Breite einer Aussparung (derLücke zwischenbenachbarten vorspringenden Abschnitten) auf nicht größer alsdie obere Grenze einer vorbestimmten Ätzbreite festgelegt ist, wennein Abschnitt einer unebenen bzw. ungleichmäßigen Form durch Ätzen gebildetwird, werden Ausparungsabschnitte geeignet geätzt, und es kann der Abstand zwischenden gegenüberliegendenAbschnitten an dem Aussparungsabschnitt um einen Betrag entsprechendder Tiefe des Aussparungsabschnitts erhöht werden.
    [0025] Die vorliegende Erfindung wurde aufder Grundlage der Ergebnisse der oben beschriebenen Studien ausgeführt.
    [0026] Entsprechend einer ersten Ausbildungder vorliegenden Erfindung wird eine Vorrichtung eines elektrostatischenVibrationstyps bereitgestellt mit einem Basisabschnitt, einem Vibrator,welcher beweglich an dem Basisabschnitt angeordnet ist, um in einervorbestimmten Richtung (x) zu vibrieren, und wenigstens einer Ansteuerungselektrodezum Aufbringen einer elektrostatischen Kraft an dem Vibrator, um denan dem Basisabschnitt befestigten Vibrator derart anzusteuern, daß der Vibratorin einer vorbestimmten Richtung vibriert, wobei der Basisabschnitt, derVibrator und die Ansteuerungselektrode durch Ätzen eines Substrats gebildetsind, welche dahingehend charakterisiert ist, daß der Vibrator wenigstens einenRahmenabschnitt, der entworfen ist, daß er eine planare Rahmenformaufweist, und wenigstens einen im Rahmen befestigten Abschnitt besitzt,welcher an dem Rahmenabschnitt befestigt und in einem inneren Raumbefindlich ist, der von einem inneren Randabschnitt des Rahmenabschnittsumgeben ist; die wenigstens eine Ansteuerungselektrode eine ersteAnsteuerungselektrode, welche einem äußeren Randabschnitt des Vibratorsgegenüberliegendangeordnet ist, und eine zweite Ansteuerungselektrode aufweist,welche an dem im Rahmen befestigten Abschnitt angeordnet und deminneren Randabschnitt des Rahmenabschnitts gegenüberliegend angeordnet ist;und wenigstens eine Stelle eines Rückseitenabschnitts des im Rahmenbefestigten Abschnitts, welche an gegenüberliegenden Seiten des Anordnungsabschnittsder zweiten Ansteuerungselektrode befindlich ist, und des innerenRandabschnitts des Rahmenabschnitts, welcher dem Rückseitenabschnittgegenüberliegt,derart entworfen ist, daß sie einenungleichmäßig geformtenAbschnitt ((Ungleichmäßigkeitenbzw. Unregelmäßigkeiten)besitzt.
    [0027] Entsprechend der ersten Ausbildungist der Vibrator mit einer planaren Rahmenform entworfen, und diezweite Ansteuerungselektrode ist in dem inneren Raum angeordnet,welcher von dem inneren Rand des Rahmenabschnitts umschlossen ist,so daß esmöglichist, ein Ansteigen der Körpergröße des Substratsmaximal und ein Ansteigen der Anzahl von Ansteuerungselektrodenmit hoher Flächeneffizienzzu unterdrücken.
    [0028] Die Lücke zwischen dem Rückseitenabschnittdes im Rahmen befestigten Abschnitts und des inneren Randabschnittsdes Rahmenabschnitts, welcher dem Rückseitenabschnitt gegenüberliegt (d.h.,die Lückein dem inneren Raum) ist an jedem Aussparungsabschnitt des unebenbzw. ungleichmäßig geformtenAbschnitts erhöht,so daß dieelektrostatische Kraft, welche in dieser Lücke wirkt, verringert werdenkann. Daher kann bei der vorliegenden Erfindung die Ansteuerungskraftmit einem Unterdrückendes Ansteigens der Körpergröße soweitwie möglichgeeignet erhöhtwerden.
    [0029] Des weiteren sind entsprechend einerzweiten Ausbildung der vorliegenden Erfindung sowohl die Stelledes Rückseitenabschnittsdes im Rahmen befestigten Abschnitts als auch die des inneren Randabschnittsdes Rahmenabschnitts, welche dem Rückseitenabschnitt gegenüberliegt,derart entworfen, daß sieeinen ungleichmäßig geformtenAbschnitt aufweisen.
    [0030] Wenn sowohl der Rückseitenabschnitt des im Rahmenbefestigten Abschnitts und der innere Randabschnitt des Rahmenabschnitts,welcher dem Rückseitenabschnittgegenüberliegt,derart entworfen werden, daß sieeine ungleichmäßige Formaufweisen, kann die Anzahl von Aussparungsabschnitten im Vergleichmit dem Fall, bei welchem lediglich eine von ihnen in einer ungleichmäßigen Formentworfen worden ist, stärkererhöhtwerden, was somit bevorzugt wird.
    [0031] Entsprechend einer dritten Ausbildungder vorliegenden Erfindung ist der Rahmenabschnitt zur Bildung einesKerbenabschnitts in dem Rahmenabschnitt teilweise ausgeschnittenund erstreckt sich der im Rahmen befestigte Abschnitt von dem Basisabschnittaus überden Kerbenabschnitt in den inneren Randabschnitt des Rahmenabschnitts.
    [0032] Die vorliegende Erfindung wird inder nachfolgenden Beschreibung unter Bezugnahme auf die Zeichnungerläutert.
    [0033] 1 zeigteine schematische Draufsicht, welche einen Winkelsensor einer Ausführungsform dervorliegenden Erfindung darstellt;
    [0034] 2 zeigteine Querschnittsansicht entlang A-A von 1;
    [0035] 3 zeigteine vergrößerte Draufsicht,welche einen ungleichmäßig geformtenAbschnitt von 1 darstellt;
    [0036] 4A bis 4C zeigen Diagramme. welche einenProzeßfluß einesHerstellungsverfahrens des Winkelsensors der Ausführungsformdarstellen;
    [0037] 5A bis 5D zeigen Diagramme, welche einennachfolgenden Prozeßfluß des Herstellungsverfahrensvon 4 darstellen;
    [0038] 6 zeigteine Draufsicht, welche ein anderes Beispiel des ungleichmäßig geformtenAbschnitts darstellt;
    [0039] 7 zeigteine schematische Draufsicht, welche einen als ersten Prototyp erzeugtenWinkelsensor darstellt;
    [0040] 8 zeigteine schematische Draufsicht, welche einen als zweiten Prototyphergestellten Winkelsensor darstellt; und
    [0041] 9A bis 9B zeigen Draufsichten vonalternativen Implementierungen des ungleichmäßig geformten Abschnitts.
    [0042] Bevorzugte Ausführungsformen der vorliegendenErfindung werden im folgenden unter Bezugnahme auf die zugehörigen Figurenbeschrieben.
    [0043] 1 zeigteine schematische Draufsicht, welche einen Winkelsensor S1 einerVorrichtung des elektrostatischen Vibrationstyps einer Ausführungsformder vorliegenden Erfindung darstellt, und 2 zeigt eine Querschnittsansicht entlangA-A von 1.
    [0044] Wie in 2 dargestelltist das Substrat, welches den Winkelsensor S1 bildet, ein rechtwinkliges SOI-Substrat 10,welches durch Aufschichten eines zweiten Siliziumsubstrats 12 aufeinem ersten Siliziumsubstrat 11 über einem Oxidfilm 13 gebildetwird.
    [0045] Dabei wird das zweite Siliziumsubstrat 12 einer Ätzbehandlungzur Bildung von Gräben 12a unterworfen,wodurch das zweite Siliziumsubstrat 12 in einen Vibrator 30,Ansteuerungselektroden 40, 41, Erfassungselektroden 50,jeweilige Balken bzw. Ausleger 33, 34, usw. segmentiertwird.
    [0046] An dem Abschnitt des SOI-Substrats 10,welcher dem Vibrator 30 entspricht, werden das erste Siliziumsubstrat 11 unddie Oxidschicht 13 durch Ätzen entfernt und somit der Öffnungsabschnitt 14 gebildet. Daserste Siliziumsubstrat 11 und der Oxidfilm 13, welcheden Öffnungsabschnitt 14 umgeben,sind wie das Trägersubstratkonstruiert, welches als der Basisabschnitt 20 bezeichnetwird.
    [0047] Der Vibrator 30 umfaßt zweiRahmenabschnitte 31, welche sowohl an der linken als auch rechtenSeite des zweiten Siliziumsubstrats 12 befindlich sind,deren planare Formen als Rahmenformen (hiernach als "rechte und linkeRahmenabschnitte" bezeichnet)entworfen sind, und einen planaren rechtwinkligen Erfassungsschwebeabschnitt (detectingpoise portion) 32, welcher zwischen den rechten und linkenRahmenabschnitten 31 angeordnet ist. Bei dieser Ausführungsformist die Gesamtheit des Vibrators 30 mit dem Basisabschnitt 20 durchvier Ansteuerungs- bzw.Antriebsbalken (driving beams) 33 verbunden. Des weiterenist bei dieser Ausführungsformder Erfassungsschwebeabschnitt 32 mit den rechten und linkenRahmenabschnitten 31 durch vier Erfassungsbalken 34 verbunden.
    [0048] Dabei besitzen die Ansteuerungsbalkeneinen Freiheitsgrad im wesentlichen lediglich in der x-Richtung,und es ist dem Gesamtvibrator 30 möglich, über die Ansteuerungsbalken 33 inder x-Richtung zu vibrieren. Darüberhinaus besitzen die Erfassungsbalken 34 im wesentlichen denselbenFreiheitsgrad lediglich in der y-Richtung, und es ist dem Erfassungsschwebeabschnitt 32 desVibrators 30 möglich, über dieErfassungsbalken 34 in der y-Richtung zu vibrieren.
    [0049] Des weiteren sind die Ansteuerungs-bzw. Antriebselektroden (driving electrodes) 40, 41 auf demzweiten Siliziumsubstrat 12, welches an dem Basisabschnitt 20 befestigtist, gebildet, um sowohl den jeweiligen äußeren Abschnitten der rechtenund linken Rahmenabschnitte 31 in der x-Richtung gegenüberzuliegen.Des weiteren dienen die Ansteuerungselektroden 40, 41 dazu,eine elektrostatische Kraft dem Vibrator 30 aufzubringen,um den Vibrator 30 derart anzusteuern bzw. anzutreiben,daß derGesamtvibrator 30 in der x-Richtung vibriert. Die Ansteuerungselektrode 40 ander linken Seite von 1 wirdhiernach als "linksseitigeAnsteuerungselektrode 40'' bezeichnet,und die Ansteuerungselektrode 41 an der rechten Seite von 1 wird hiernach als "rechtsseitige Ansteuerungselektrode 41'' bezeichnet.
    [0050] Dabei umfaßt die linksseitige Ansteuerungselektrode 40 (rechtsseitigeAnsteuerungselektrode 41) eine erste Ansteuerungselektrode 40a (41a),welche gegenüberliegenddem äußeren Randabschnitt desVibrators 30 angeordnet ist, bzw. eine zweite Ansteuerungselektrode 40b (41),welche gegenüber deminneren Randabschnitt des Rahmens des Vibrators 30 angeordnetist.
    [0051] Ein Teil des zweiten Siliziumsubstrats 12, welchesan dem Basisabschnitt 20 befestigt ist, ist in dem innerenRaum befindlich, welcher von dem inneren Randabschnitt der rechten(linken) Rahmenabschnitte 31 umschlossen ist, um als rechter(linker) in dem Rahmen befestigter Abschnitt 60 in deminneren Raum zu dienen, welcher von dem inneren Randabschnitt desrechten (linken) Rahmenabschnitts 31 umgeben ist, so daß die zweiteAnsteuerungselektrode 40b (41b) an dem rechten(linken) in dem Rahmen befestigten Abschnitt 60 angeordnet ist.
    [0052] In diesem Fall ist der rechte (linke)Rahmenabschnitt 31 teilweise ausgeschnitten, um einen ausgeschnittenenAbschnitt 31a aufzuweisen. Der im Rahmen befestigte Ab schnitt 60 istderart entworfen, daß ersich von dem Basisabschnitt 20 über den ausgeschnittenen Abschnitt(oder Kerbenabschnitt) 31a zu dem inneren Randabschnittdes Rahmenabschnitts 31 erstreckt. Insbesondere ist derim Rahmen befestigte Abschnitt 60 derart entworfen, daß er imwesentlichen T-förmiggestaltet ist.
    [0053] Bei dieser Ausführungsform sind die ersten undzweiten Ansteuerungselektroden 40, 41 in einer Kammformentworfen, und diese kammförmigenAbschnitte der ersten und zweiten Ansteuerungselektroden sind derartangeordnet, daß siein die kammförmigenAbschnitte 30a, 30b eingreifen, welche von denAbschnitten des Vibrators 30 vorspringen, welche den jeweiligenAnsteuerungselektroden 40, 41 gegenüberliegen.
    [0054] Des weiteren sind die Erfassungselektroden 50 indem zweiten Siliziumsubstrat 12 derart gebildet, daß sie beidenaußenseitigenAbschnitten des Erfassungsschwebeabschnitts 32 in der y-Richtunggegenüberliegen.Die Erfassungselektroden 50 erfassen die Vibration (Erfassungsvibration)des Erfassungsschwebeabschnitts 32, welche in der y-Richtungauftritt, wenn eine Winkelgeschwindigkeit Ω um die z-Achse senkrecht zuder x-Richtung und der y-Richtung unter der Ansteuerungsvibrationdes Vibrators 30 aufgebracht wird, und geben das Erfassungsergebnisals Erfassungssignal aus.
    [0055] Dabei sind die Ansteuerungselektroden 40 unddie Erfassungselektroden 50 mit Kontaktstellen bzw. Auflagen(Kontaktstellen 45 fürdie Ansteuerungselektroden und Kontaktstellen 55 für die Erfassungselektroden)ausgestattet, welche aus Aluminium oder dergleichen gebildet sind,um elektrisch die Ansteuerungselektroden 40 und die Erfassungselektroden 50 miteinem (nicht dargestellten) Schaltungsabschnitt durch Drahtbondenoder dergleichen zu verbinden.
    [0056] Des weiteren sind die befestigtenAbschnitte der Ansteuerungsbalken 33 zu dem Basisabschnitt 20 mitKontaktstellen bzw. Auflagen 35 (Kontaktstellen für den Vibrator)verbunden, welche aus Aluminium oder dergleichen gebildet sind,um elektrisch den Vibrator 30 mit dem oben beschriebenenSchaltungsabschnitt durch Drahtbonden oder dergleichen, zu verbinden.
    [0057] Des weiteren sind bei dieser Ausführungsformsowohl der Rückseitenabschnitt 60a jedesim Rahmen befestigten Abschnitts 60, welcher an der gegenüberliegendenSeite zu dem Anordnungsabschnitt der zweiten Ansteuerungselektrode 40b, 41b befindlichist, als auch der innere Randabschnitt des Rahmenabschnitts 31,welcher dem Rückseitenabschnittgegenüberliegt,derart entworfen, daß sieeine unebene bzw. ungleichmäßige Form(uneven shape) (Ungleichmäßigkeitenbzw. Unregelmäßigkeiten)besitzen. 3 stellt einevergrößerte Draufsichtauf den uneben bzw. ungleichmäßig geformtenAbschnitt dar.
    [0058] Bei dieser Ausführungsform ist wie in 3 dargestellt der unebenbzw. ungleichmäßig geformte Abschnittderart entworfen, daß errechtwinklige Ungleichmäßigkeitenbzw. Unregelmäßigkeiten(Aussparungen und Vorsprünge)besitzt. An der gegenüberliegendenRückseitenlücke 70 sinddie unebene bzw. ungleichmäßige Struktur(Periode) der unebenen bzw. ungleichmäßigen Form des Rückseitenabschnitts 60a desim Rahmen befestigten Abschnitts 60 und die Unebenheits-bzw. Ungleichmäßigkeitsstruktur(Periode) des unebenen bzw. ungleichmäßigen Abschnitts des innerenRandabschnitts des Rahmenabschnitts 31 derart angeordnet,daß siezueinander in einer versetzten Struktur verschoben sind. Insbesondereliegt jeder vorsprin gende Abschnitt eines uneben bzw. ungleichmäßig geformtenAbschnitts und jeder Aussparungsabschnitt des anderen uneben bzw.ungleichmäßig geformtenAbschnitts einander gegenüber.
    [0059] Beispielsweise ist die Tiefe jedesAussparungsabschnitts (die Höhejedes Vorsprungsabschnitts) der uneben bzw. ungleichmäßig geformten Abschnitteauf etwa 3 μmfestgelegt, und die Breite w jedes Aussparungsabschnitts (das Intervallzwischen den benachbarten Vorsprungsabschnitten) ist auf etwa 9 μm festgelegt.An den Seiten der Aussparungsabschnitte ist die gegenüberliegendeRückseitenlücke 70 umden Betrag entsprechend der Tiefe h des Aussparungsabschnitts imVergleich mit dem Fall größer, beiwelchem kein uneben bzw. ungleichmäßig geformter Abschnitt gebildetist.
    [0060] Des weiteren sind die Aussparungsabschnittederart entworfen, daß dieBreite w davon nicht über deroberen Grenze der Ätzbreiteliegt, welche durch die Ätzregelbestimmt ist, wenn die Gräbenin dem zweiten Siliziumsubstrat 12 durch Ätzen gebildet werden.
    [0061] Als nächstes wird das Verfahren zurHerstellung des Winkelgeschwindigkeitssensors S1 unter Verwendungeines Falles beschrieben, bei welchem ein SOI- (silicon on insulator,Silizium auf Isolator) Substrat verwendet wird. 4A bis 4C und 5A bis 5D stellen die Verarbeitungen in denjeweiligen Schritten des Herstellungsverfahrens zur Herstellung desWinkelgeschwindigkeitssensors S1 dar und zeigen ebenfalls Querschnittsansichtenentsprechend der Querschnittsansicht von 2.
    [0062] Zuerst wird ein Oxidfilm (eine Dickevon beispielsweise 1 μm) 13 schichtweisezwischen ersten und zweiten Substraten 11, 12 angeordnet,welche aus einkristallinem Silizium gebildet sind, um ein SOI-Substrat 10 wiein 4A dargestellt vorzubereiten.
    [0063] Danach wird beispielsweise Phosphoreiner hohen Konzentration (N+-Diffusion)in die gesamte Oberflächedes zweiten Siliziumsubstrats 12 eindiffundiert, um denOberflächenwiderstandswertdavon und ebenfalls den Kontaktwiderstandswert mit den jeweiligenKontaktstellen 35, 45, 55 (in den Figuren isteine Kontaktstelle 45 dargestellt) zu verringern, welcheaus Aluminium in dem nächstenSchritt gebildet werden.
    [0064] Darauffolgend wird Aluminium miteiner Dicke von beispielsweise 1 μmauf die Oberfläche (zweitesSiliziumsubstrat 12) des SOI-Substrats 10 aufgetragen,und danach wird ein Fotoätzendurchgeführt,um dadurch die jeweiligen Kontaktstellen 35, 45, 55 zubilden.
    [0065] Darauffolgend wird wie in 4B dargestellt die Rückseite(das erste Siliziumsubstrat 11) des SOI-Substrats 10 einer Rückseitenpolierbehandlung unterworfen,um die Dicke des SOI-Substrats 10 auf eine vorbestimmteDicke (von beispielsweise 300 μm)festzulegen und ebenfalls die Rückseitedes SOI-Substrats 10 auf Hochglanz zu polieren.
    [0066] Darauffolgend wird wie in 4C dargestellt ein SiN-Plasma-Film 300 (vonbeispielsweis 0,5 μm) aufder Rückseitedes SOI-Substrats (erstes Siliziumsubstrat 11) aufgetragen,eine Fotostruktur gebildet und danach der SiN-Plasma-Film 300 geätzt, wodurchein vorbestimmter Bereich geöffnetwird.
    [0067] Darauffolgend wird wie in 5A dargestellt eine Strukturzum Segmentieren des Vibrators 30, der Ansteuerungselektroden 40, 41,der Erfassungselektroden 50, der Träger 33, 44,der uneben bzw. ungleichmäßig geformtenAbschnitte in der gegenüberliegendenRückseitenlücke 70,usw. auf der Oberflächedes zweiten Siliziumsubstrats 12 unter Verwendung einesResists gebildet und einem Trockenätzen zur Bildung eines Grabensunterworfen, d.h. einer Vertiefung 12, bis das die Vertiefung 12a denOxidfilm 13 erreicht.
    [0068] Darauffolgend wird wie in 5B dargestellt das ersteSiliziumsubstrat 11 mit einer wässrigen KOH-Lösung unterVerwendung einer auf dem SiN-Plasma-Film 300 als Maskegebildeten Struktur tief geätzt.
    [0069] Wenn zu dieser Zeit das Ätzen unterstützt wird,bis der Oxidfilm 13 erreicht wird, würde der Oxidfilm 13 gebrochenwerden und somit das SOI-Substrat 10 infolge des Drucksdes Ätzmittels zerstört. Daherwird die Ätzzeitderart gehandhabt, daß das Ätzen beendetwerden kann, wobei Silizium des ersten Siliziumsubstrats 11 ineiner Dicke von 10 μmverbleibt, um zu vermeiden, daß derOxidfilm 13 gebrochen wird.
    [0070] Darauffolgend wird wie in 5C dargestellt in dem Schrittvon 5B übriggebliebenesSI geätzt unddurch Trockenplasmaätzenentfernt. Zu dieser Zeit wird der SiN-Plasmafilm 300 der Rückseitedes SOI-Substrats gleichzeitig entfernt.
    [0071] Schließlich wird wie in 5D dargestellt der Oxidfilm 13 durchTrockenätzenzur Bildung des Vibrators 30, usw. entfernt. Somit wirddurch den obigen Prozeß derWinkelsensor S1 vollendet. Danach wird jede Kontaktstelle 35, 45, 55 elektrischmit dem oben beschriebenen Schaltungsabschnitt durch Drahtbondenoder dergleichen verbunden.
    [0072] Bei dieser Ausführungsform wird der Winkelgeschwindigkeitssensorderart entworfen, daß die Breitew der in 3 dargestelltenAussparungsabschnitte nicht überder oberen Grenze der Ätzbreite liegt,welche durch die Ätzregelbestimmt wird, wenn das zweite Siliziumsubstrat 12 zurBildung der Vertiefungen geätztwird.
    [0073] Daher können unter Durchführung bzw.Leitung des Grabenätzensauf dem in 5A dargestelltenzweiten Siliziumsubstrat die jeweiligen Teile wie der Vibrator 30,usw. gebildet werden, und es könnendie uneben bzw. ungleichmäßig geformten Abschnittegeeignet in der gegenüberliegenden Rückseitenlücke 70 gebildetwerden.
    [0074] Als nächstes wird der Betrieb desWinkelgeschwindigkeitssensors S1 beschrieben.
    [0075] Eine konstante Spannung wird vondem oben beschriebenen Schaltungsabschnitt dem Vibrator über dieKontaktstellen 35 fürden Vibrator angelegt, und ebenfalls werden alternierende Spannungen(Ansteuerungs- bzw. Antriebssignale (driving signals)), welche inder Phase entgegengesetzt sind, an die rechten und linken Ansteuerungselektroden 40, 41 über dieKontaktstellen 45 fürdie Ansteuerungselektroden angelegt. Unter der Anwendung dieserSpannungen tritt eine elektrostatische Kraft (d.h. eine elektrostatischeAnziehungskraft) zwischen den kammförmigen Abschnitten 30a, 30b desVibrators 30 und den Ansteuerungselektroden 40, 41 anden rechten und linken Seiten auf , und es wird der Gesamtvibrator 30 inder x-Richtung durchdie Ansteuerungsbalken 33 angesteuert und vibriert.
    [0076] Wenn die Winkelgeschwindigkeit Ω um die z-Achseherum unter der Ansteuerungs- bz. Antriebsvibration (driving-vibration)des Vibrators 30 aufgebracht wird, wird dem Vibrator 30 inder y-Richtung eine Corioliskraft aufgebracht, und der Erfassungsschwebeabschnitt 32 desVibrators 30 vibriert (vibriert in Bezug auf eine Erfassung)in der y-Richtung durch die Erfassungsbalken 34. Bei dieserAusführungsformwurde der Vibrator 30 in einer Rahmenform entworfen, unddie Ansteuerungselektroden (d.h. die zweiten Ansteuerungselektroden 40b, 41b) sindebenfalls in den Rahmenabschnitten 31 angeordnet. Daherkann das Ansteigen der Körpergröße des Substrats 10 maximalunterdrücktwerden, und es kann das Ansteigen der Anzahl von Ansteuerungselektroden,welche eine hohe Flächeneffizienz besitzen,unterstütztwerden.
    [0077] Des weiteren sind die uneben bzw.ungleichmäßig geformtenAbschnitte in der gegenüberliegendenRückseitenlücke 70 durch Ätzen deszweiten Siliziumsubstrats 12 geeignet gebildet, und diegegenüberliegendeRückseitenlücke 70 istan den Aussparungsabschnittsseiten derart erhöht, daß die elektrostatische Kraft,welche auf die gegenüberliegende Rückseitenlücke 70 einwirkt,verringert werden kann.
    [0078] Daher wird bei dieser Ausführungsformdie Anzahl von Kammzähnendurch die zweiten Ansteuerungselektroden 40b, 41b derarterhöht,daß dieAnsteuerungskraft und die Ansteuerungsvibrationsgeschwindigkeitkonform mit dem Ansteigen der Kammzahl erhöht sind. Dementsprechend kannein Winkelgeschwindigkeitssensor eines elektrostatischen Vibrationstypsbereitgestellt werden, bei welchem die Ansteuerungskraft unter Beibehaltungder Ätzregel undunter maximaler Unterdrückungdes Ansteigens der Körpergröße die Ansteuerungskraftgeeignet ansteigen kann.
    [0079] Bei der in 3 dargestellten Ausführungsform sind die Strukturder unebenen bzw. ungleichmäßigen Form(Periode) des Rückseitenabschnitts 60a indem im Rahmen befestigten Abschnitt 60 und die Strukturder unebenen bzw. ungleichmäßigen Form(Periode) des inneren Randabschnitts des Rahmenabschnitts 31 derartangeordnet, daß siebezüglichder Phase zueinander verschoben werden (d.h. sie sind in einer versetztenStruktur angeordnet). Jedoch könnenbeide Strukturen der unebenen bzw. ungleichmäßigen Form (Perioden) ohneeine Verschiebung in der Phase wie in 6 dargestellt angeordnetwerden (d.h. sie sind derart angeordnet, daß die vorspringenden Abschnittedavon einander gegenüberliegen,währenddie Aussparungsabschnitte davon einander gegenüberliegen).
    [0080] Jeder unebene bzw. ungleichmäßige Abschnitt(Aussparung oder Vorsprung) der uneben bzw. ungleichmäßig geformtenAbschnitte wird in einer planaren rechtwinkligen Form entworfen,jedoch kann die Form des unebenen bzw. ungleichmäßigen Abschnitts eine dreieckigeForm, eine trapezförmige Form,eine Halbkreisform, eine Sägezahnformoder dergleichen bei der obigen Ausführungsform sein, und es können verschiedenegeometrische Formen fürdie planare Form des unebenen bzw. ungleichmäßigen Abschnitts verwendetwerden.
    [0081] Entsprechend 9A und 9C werdenbeispielhafte Rückseitenlücken 70 dargestellt,bei welchen die uneben b zw. ungleichmäßig geformten Abschnitte eineTrapezform und eine Dreiecksform jeweils besitzen und in der Phaseverschoben sind.
    [0082] Entsprechend 9B und 9D werdenbeispielhafte Rückseitenlücken 70 dargestellt,bei welchen die uneben bzw. ungleichmäßig geformten Abschnitte eineTrapezform und eine dreieckige Form jeweils besitzen und derartan geordnet sind, daß die vorspringendenAbschnitte davon einander gegenüberliegen,währenddie Aussparungsabschnitte davon einander gegenüberliegen.
    [0083] Des weiteren kann bei der gegenüberliegendenRückseitenlücke 70 deruneben bzw. ungleichmäßig geformteAbschnitt an lediglich dem Rückseitenabschnitt 60a desin dem Rahmen befestigten Abschnitts 60 oder lediglichan dem inneren Randabschnitt des Rahmenabschnitts 31 gebildet werden,welcher dem Rückseitenabschnitt 60a gegenüberliegt.
    [0084] Zusätzlich zu dem oben beschriebenenWinkelgeschwindigkeitssensor kann diese Erfindung auf einen Stellantriebbzw. ein Betätigungsgliedeines elektrostatischen Vibrationstyps oder dergleichen angewandtwerden. Kurz dargestellt, diese Erfindung ist auf eine Vorrichtungeines elektrostatischen Vibrationstyps mit einer Struktur anwendbar,bei welcher ein Basisabschnitt, ein Vibrator und eine Ansteuerungselektrodedurch Ätzeneines Substrats gebildet werden, der Vibrator in einer Rahmenformentworfen wird und die Ansteuerungselektrode ebenfalls in dem Rahmenabschnittangeordnet ist.
    [0085] Vorstehend wurde eine elektrostatischeVibrationsvorrichtung offenbart. Ein Vibrator (30) besitzt einenRahmenabschnitt (31) mit einer planaren Rahmenform, einenim Rahmen befestigten Abschnitt (60), welcher an einemBasisabschnitt (20) befestigt ist und in dem inneren Raumbefindlich ist, der von dem inneren Rand des Rahmenabschnitts (31)umgeben ist, und eine Ansteuerungselektrode (40, 41), welcheeine erste Ansteuerungselektrode (40a, 41a), diegegenüberliegenddem äußeren Randabschnitt desVibrators (30) angeordnet ist, und eine zweite Ansteuerungselektrode(40b, 41b) aufweist, die an dem im Rahmen befestigtenAbschnitt (40) angeordnet ist, um dem inneren Randabschnittdes Rahmenabschnitts (31) gegenüberzuliegen, und es sind der Rückseitenabschnitt(60a) des im Rahmen befestigten Abschnitts (60)und der innere Randabschnitt des Rahmenabschnitts (31),welcher dem Rückseitenabschnitt(60a) gegenüberliegt,in einem uneben bzw. ungleichmäßig geformtenAbschnitt entworfen.
    权利要求:
    Claims (6)
    [1] Vorrichtung eines elektrostatischen Vibrationstypsmit einem Basisabschnitt (20), einem Vibrator (30),welcher beweglich an dem Basisabschnitt angeordnet ist, um in einervorbestimmten Richtung zu vibrieren, und wenigstens einer Ansteuerungselektrode(40, 41) zum Aufbringen einer elektrostatischen Kraftan dem Vibrator, um den an dem Basisabschnitt befestigten Vibratorderart anzusteuern, daß derVibrator in einer vorbestimmten Richtung vibriert, wobei der Basisabschnitt,der Vibrator und die Ansteuerungselektrode durch Ätzen einesSubstrats gebildet sind, dadurch gekennzeichnet, daß derVibrator wenigstens einen Rahmenabschnitt (31), der entworfenist, daß ereine planare Rahmenform aufweist, und wenigstens einen im Rahmenbefestigten Abschnitt (60) besitzt, welcher an dem Rahmenabschnittbefestigt und in einem inneren Raum befindlich ist, der von eineminneren Randabschnitt des Rahmenabschnitts umgeben ist; diewenigstens eine Ansteuerungselektrode eine erste Ansteuerungselektrode(40a, 41a), welche einem äußeren Randabschnitt des Vibratorsgegenüberliegendangeordnet ist, und eine zweite Ansteuerungselektrode (40b, 41b)aufweist, welche an dem im Rahmen befestigten Abschnitt angeordnetund dem inneren Randabschnitt des Rahmenabschnitts gegenüberliegendangeordnet ist; und wenigstens eine Stelle eines Rückseitenabschnitts (60a)des im Rahmen befestigten Abschnitts, welche an gegenüberliegendenSeiten des Anordungsabschnitts der zweiten Ansteuerungselektrodebefindlich ist, und des inneren Randabschnitts des Rahmenabschnitts,welcher dem Rückseitenabschnitt gegenüberliegt,derart entworfen ist, daß sieeinen ungleichmäßig geformtenAbschnitt besitzt.
    [2] Vorrichtung eines elektrostatischen Vibrationstypsnach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sowohl die Stelle des Rückseitenabschnitts(60a) des im Rahmen befestigten Abschnitts (60)als auch die des inneren Randabschnitts des Rahmenabschnitts (31),welche dem Rückseitenabschnittgegenüberliegt,derart entworfen sind, daß sieeinen ungleichmäßig geformtenAbschnitt aufweisen.
    [3] Vorrichtung eines elektrostatischen Vibrationstypsnach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Rahmenabschnitt (31)zur Bildung eines Kerbenabschnitts (31a) in dem Rahmenabschnitt(31) teilweise ausgeschnitten ist und der im Rahmen befestigteAbschnitt (60) sich von dem Basisabschnitt (20) aus über denKerbenabschnitt in den inneren Randabschnitt des Rahmenabschnittserstreckt.
    [4] Vorrichtung eines elektrostatischen Vibrationstypsnach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der ungleichmäßig geformteAbschnitt des Rückseitenabschnitts(60a) des im Rahmen befestigten Abschnitts (60)und der ungleichmäßig geformteAbschnitt des inneren Randabschnitts des Rahmenabschnitts (31),welcher dem Rückseitenabschnittgegenüberliegt,derart angeordnet sind, daß siezueinander in der Phase verschoben sind.
    [5] Vorrichtung eines elektrostatischen Vibrationstypsnach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der ungleichmäßig geformteAbschnitt des Rückseitenabschnitts(60a) des im Rahmen befestigten Abschnitts (60)und der ungleichmäßig geformteAbschnitt des inneren Randabschnitts des Rahmenabschnitts (31)eine Form besitzen, die aus einer Gruppe bestehend aus einer planarenrechtwinkligen Form, einer dreieckigen Form, einer Trapezform, einerHalbkreisform und einer Sägezahnformgewählt ist.
    [6] Vorrichtung eines elektrostatischen Vibrationstypsnach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Rahmenabschnitt (31)zur Bildung eines Kerbenabschnitts (31a) in dem Rahmenabschnitt(31) teilweise ausgeschnitten ist und der im Rahmen befestigteAbschnitt (60) sich von dem Basisabschnitt (20) aus über denKerbenabschnitt in den inneren Randabschnitt des Rahmenabschnittserstreckt.
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    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    2009-11-19| 8139| Disposal/non-payment of the annual fee|
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
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